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高分解能電界放出形走査電子顕微鏡



新たに「高分解能電界放出形走査電子顕微鏡」を導入しました。


 SAITECでは、新たに「高分解能電界放出形走査電子顕微鏡」を導入し 依頼試験の受付を開始いたしました。
【走査型電子顕微鏡による高分解能試験】
    10万倍以下     13,100円(1試料1測定)
    10万倍をこえるもの 19,900円(1試料1測定)

   ぜひ、ご活用ください。

新設備の概要

高分解能電界放出形走査電子顕微鏡

    大型X線CT装置
    メーカー
    ○高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
    (株)日立ハイテクノロジーズ
    Regulus8230

    ○エネルギー分散型X線分析装置
    製造元:竃x場製作所
    型 式:X-Max80(検出器)、EMAX Evolution(ソフトウェア)
    装置概要  本装置は、試料表面を高分解能に観察し撮影する装置です。高分解能観察だけでなく、 低加速電圧観察や高感度な元素分析などの能力を備えているため、次世代エレクトロニクスデバイスへの 応用が期待されているナノカーボンなど新炭素材料や複合材料などの材料観察・評価に活用されます。 そのため、新素材の研究開発やナノマテリアルの評価などに役立ちます。
    仕様 ○高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
    二次電子分解能:0.7 nm(加速電圧 15 kV)
               0.9 nm(照射電圧 1 kV)
    加速電圧:0.5〜30 kV
    倍率:20〜2,000,000 倍
    その他:反射電子検出器・透過電子検出器 他

    ○エネルギー分散型X線分析装置
    有効素子面積:80 mm2
    検出器分解能:127 eV
    測定可能元素:4Be 〜 94Pu
    その他:定性・点・マッピング分析 他
    設置場所 埼玉県産業技術総合センター本所(川口市)
    お問い合わせ先 埼玉県産業技術総合センター 技術支援室 材料技術担当
    TEL 048-265-1369  FAX 048-265-1334